Распыление под действием бомбардировки частицами, вып. 3; Характеристики распыленных частиц, применения в технике
Виттмак К., Бериш Р.
Книга известных ученых Германии, США и Швеции содержит сведения об основных механизмах, режимах и закономерностях физического распыления, о распределении распыленных частиц по углам вылета, о десорбции больших биомолекул с поверхностей твердых тел и жидкостей под действием ионной бомбардировки. Анализируются зарядовые состояния и состояния возбуждения распыленных частиц, состав поверхности и объема твердых тел при распылении. Для широкого круга исследователей в области физической электроники, физики плазмы, микроэлектроники, материаловедения и тормоядерных исследований.
Рік:
1998
Видавництво:
Мир
Мова:
russian
Сторінки:
518
ISBN 10:
3540534288
ISBN 13:
9783540534280
Файл:
DJVU, 6.23 MB
IPFS:
,
russian, 1998